准分子激光刻蚀制备微纳尺度滤光薄膜的技术基础研究

项目名称： 准分子激光刻蚀制备微纳尺度滤光薄膜的技术基础研究

项目编号： No.60977028

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 吴永刚

作者单位： 同济大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 微纳尺度极紫外与软X射线波长滤光薄膜在空间科学、强激光、微电子、激光等离子体惯性约束聚变实验、短波长标准计量测试等方面有极其重要的应用。本项目首先提出在聚酰亚胺等聚合物薄膜衬底上热蒸发或溅射金属薄膜材料，然后用准分子激光刻蚀方法除去部分或全部的聚合物薄膜，从而获得自支撑微纳尺度金属滤光膜的方法。研究准分子激光刻蚀复合聚合物/金属薄膜过程中的光化学和光物理效应，以及这些效应的深度范围，激光能量、激光波长、脉冲重复频率所导致的对聚合物薄膜的刻蚀机制，刻蚀过程中复合聚合物/金属薄膜的热传导特性，准分子激光刻蚀复合聚合物/金属薄膜时产生的热冲击对自支撑金属薄膜的影响。利用掩膜的方法，探索制备以聚合物作为网衬的金属滤光薄膜，增强滤光膜的强度。利用准分子激光可以精确控制聚合物薄膜刻蚀深度的优点，探索刻蚀制备具有极薄聚合物衬底的超薄金属滤光膜。本项目研究成果还将有助于其它微纳尺度电子和光子学器件的研制。

中文关键词： 准分子激光；刻蚀；聚酰亚胺；锆滤光膜；

英文摘要：

英文关键词： excimer laser；etching；polyimide；ziconium filter；