磁控溅射机的溅射气流推动装置设计及其在氧化锌薄膜生长中的应用

项目名称： 磁控溅射机的溅射气流推动装置设计及其在氧化锌薄膜生长中的应用

项目编号： No.61166001

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 金虎杰

作者单位： 延边大学

项目金额： 53万元

中文摘要： 磁控溅射机是生长各种金属薄膜和化合物薄膜广泛使用的设备，尤其广泛用于导电透明氧化物薄膜，也用于生长可发光的氧化锌薄膜的研究。由于氧化锌在许多发光物理性质方面优于氮化镓，是替代现有的氮化镓基发光器件的有力替代物。但是，目前由于氧化锌薄膜生长的技术设备不够理想，薄膜质量低下，发光效率极低，未能实现商品化。本研究试图对磁控溅射机进行改造，来实现高质量氧化锌薄膜生长，特别是高质量P型氧化锌薄膜的生长。对现有的磁控溅射机的靶枪上部设置内有扇片圆筒的溅射等离子气体推动装置，来实现无原子团簇的等离子体气流，这种等离子体流以较高的运动速率（约10～50m/s）附着在衬底上，形成氧化锌薄膜。这种氧化锌薄膜有望结晶颗粒超过100nm，而且是缜密、内部缺陷少和表面光洁度高，因此，载流子移动度有望大有提高。为后续的氧化锌发光器件制造做基础性设备设计研究。

中文关键词： 溅射气体推动装置；氧化锌团；等离子体；；

英文摘要：

英文关键词： promoting sputtering gas device；zinc oxide cluster；plasma；；