常压化学气相沉积Ti基透明导电氧化物薄膜及其光电性能研究

项目名称： 常压化学气相沉积Ti基透明导电氧化物薄膜及其光电性能研究

项目编号： No.51172200

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无机非金属材料学科

项目作者： 宋晨路

作者单位： 浙江大学

项目金额： 59万元

中文摘要： Nb掺杂TiO2薄膜（TNO）基于d轨道电子导电，其光电性能与基于s和p轨道电子导电的传统透明导电氧化物材料不同。目前对TNO的制备与性能研究处于起步阶段，对d轨道电子导电机理认识不足。本项目从提高TNO薄膜晶化程度、降低晶化温度入手，提出采用常压化学气相沉积方法在普通浮法玻璃衬底上利用籽晶层诱导结晶，原位低温制备多晶TNO透明导电膜。紧密围绕"籽晶层诱导晶化TNO薄膜的生长动力学"和"电子结构与薄膜微观结构对TNO光电性能的影响规律"这两个科学问题，深入研究多晶TNO薄膜的生长规律；结合第一性原理方法从电子结构层面探索d轨道电子导电与TNO薄膜光电性能的内在联系。本项目的实施为研究多晶Ti基透明导电薄膜的制备与性能、探索微观和电子结构影响其光电性能的物理机制开辟了新的思路，也为新型TCO材料的产业化奠定理论和技术基础，拓展传统浮法玻璃行业产品结构，具有重要的理论价值和实践意义。

中文关键词： 镀膜玻璃；透明导电氧化物；常压化学气相沉积；第一性原理；二氧化钛

英文摘要：

英文关键词： Coating glass；Transparent conducting oxide films；Ambient pressure chemical vapor depostion；First-principles method；Titania