具有曲率突变特征的三维微纳结构多隧道电流耦合探针显微超精密测量基础技术研究

项目名称： 具有曲率突变特征的三维微纳结构多隧道电流耦合探针显微超精密测量基础技术研究

项目编号： No.51175467

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 居冰峰

作者单位： 浙江大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 以具有曲率突变特征的三维微纳结构的超精密测量为主要研究内容，为克服传统扫描探针测量设备量子信号（隧道电流、原子力等）来源单一的缺陷，提出了采用多隧道电流耦合的探针显微测量方法，并制定如下研究策略：（1）建立扫描探针与复杂微纳结构表面之间的动力学及量子多隧道结耦合模型，实现"探针-试件副"动力学耦合特性的量子隧道电流信号的精确表征，明晰多隧道电流的综合作用；（2）研究扫描探针与复杂微纳结构曲率突变区域非稳态耦合特性；（3）形成扫描探针动态自平衡的主动控制策略、多角度倾斜扫描模式图像拼接融合技术、多信息的冗余、融合、数据预处理和综合利用技术等；（4）研制具有原创核心技术的具有曲率突变特征的三维微纳结构超精密测量理论及其关键技术。在应用上既为一直困扰复杂微纳结构的超精密测量提供了新方法，又延拓了描探针显微测量方法在现代加工及制造过程中的应用，因此，项目具有深远的学术意义和现实的应用前景。

中文关键词： 超精密测量；曲率突变特征；三维微纳结构；多隧道电流耦合技术；扫描探针显微镜

英文摘要：

英文关键词： Precision Metrology；Microstructures of Large Curvature；3D Micro/Nano-structure；Multi-directional Tunneling Currents' Technique；Scanning Probe Microscope