MOEMS微镜近红外光谱仪的光谱扫描成像技术研究

项目名称： MOEMS微镜近红外光谱仪的光谱扫描成像技术研究

项目编号： No.61405055

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 张中卫

作者单位： 河南理工大学

项目金额： 25万元

中文摘要： MOEMS微镜近红外光谱仪是一种可用于农产品、医药、食品品质快速无损检测的光学仪器。本项目拟在申请人前期MOEMS微镜红外光谱仪研究基础上，对MOEMS微镜近红外光谱仪的光谱扫描成像技术做进一步深入研究。具体内容包括：通过理论分析和计算光谱像平面离焦量与平行光束在光栅上扫描幅度之间的定量关系，求解达到光谱分辨率要求时平行光束在光栅上的移动限，研究宽光谱范围、高光谱MOEMS微镜近红外光谱仪的实现方法和途径；将计算机图形学、有限元分析、变形网格算法相结合，研究MOEMS微镜结构参数-转速-惯性力间关系的耦合动力学模型；通过MOEMS微镜的动态变形特性模拟分析及实验测试工作，建立MOMES微镜结构参数和动态变形间的定量关系模型，求解达到近外光谱仪使用要求的MOEMS微镜结构参数。最终，本项目将实现光谱范围1000-1800nm，分辨率不大于10nm的MOEMS微镜近红外光谱仪光谱成像技术。

中文关键词： MOMES；扫描微镜；光谱仪；微型光谱仪；

英文摘要： MOEMS micro-mirror based NIR spectrometer is an optical instruments that can be used for rapid and non-destructive testing in agricultural, pharmaceutical and food quality. Based on the preliminary studies of the MOEMS micro-mirror spectrometer, the appl

英文关键词： MOEMS；Scanning micromirror；spectrometer；micro spectrometer；