考虑工艺偏差的MEMS器件设计方法研究

项目名称： 考虑工艺偏差的MEMS器件设计方法研究

项目编号： No.61674034

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2016

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 周再发

作者单位： 东南大学

项目金额： 16万元

中文摘要： 工艺偏差（材料参数、几何尺寸、掺杂浓度等）容易造成MEMS器件实际制造与设计结果之间偏离，甚至导致器件性能不满足要求，因此，可制造性设计已成为MEMS设计的前沿课题之一。本项目将研究：①加工过程中影响MEMS器件性能的工艺偏差来源统计分析；②基于MEMS器件的行为模型，将工艺偏差抽象为该模型参数的干扰项（△），并将△通过穿量、跨量以及耦合加入原模型，得到可反映工艺偏差动态特性的器件模型分析不同工艺偏差对MEMS器件性能的影响，提取出对器件性能影响较大的关键工艺偏差；③提出考虑工艺偏差的MEMS器件性能多参数分析方法。本项目的创新之处是探索并提供一种通用的考虑多种工艺偏差的MEMS器件设计方法，通过优化设计降低MEMS器件性能对工艺偏差的敏感度，提高MEMS器件的性能和成品率。

中文关键词： MEMS；广义多项式混沌方法；工艺偏差；可制造性器件设计；设计方法

英文摘要： Process deviations during the fabrication of MEMS devices will lead to the variation between the design and fabrication results, even directly lead to device failure. This limits the industrialization of most MEMS devices, especially high performance MEMS

英文关键词： MEMS；generalized polynomial chaos；Process deviation；Device design for Manufacturability；Design method