量化表征气体敏感材料吸附热（焓变）的谐振悬臂梁实验方法

项目名称： 量化表征气体敏感材料吸附热（焓变）的谐振悬臂梁实验方法

项目编号： No.61401446

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 陈滢

作者单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

项目金额： 25万元

中文摘要： 目前化学气体传感器发展面临缺乏定量设计模型的问题，迫切需要建立量化的敏感性能模型与评估方法。本项目将研发具有亚皮克质量分辨力的集成谐振微悬臂梁传感器，研究在传感器表面上载敏感材料的方法，建立一种创新的气体吸附变温微称重实验方法，通过实验获得不同温度下的吸附平衡状态参数，绘制一系列等温吸附曲线。研究热力学理论，使用克-克方程建立从等温吸附曲线中定量提取吸附反应热（即焓变）的模型，进而依据热力学参数对敏感材料特性进行评估、筛选并指导敏感材料的优化设计与制备。研究将利用多种表征和分析手段对模型和评估方法进行验证。该定量化焓变表征方法可适用于对痕量气体敏感的各类敏感材料，为突破气体敏感材料研究瓶颈和推进气体传感器的产品化应用进程提供一种先进研究方法，打下坚实的科学基础。

中文关键词： 热力学；焓变；传感器；敏感材料；吸附

英文摘要： Nowadays, the lack of quantitative parameters in chemical sensors modeling and design is a big issue. There are urgent needs for quantitative sensing modeling and sensing material evaluation. This project focuses on developing integrated resonant cantilev

英文关键词： thermodynamics；enthalpy change；sensor；sensing material；adsorption