改进型量子进化算法在极紫外多层膜研究中的应用

项目名称： 改进型量子进化算法在极紫外多层膜研究中的应用

项目编号： No.61405189

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 匡尚奇

作者单位： 长春理工大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 对于极紫外多层膜研究中的多参数求解问题，一般寻优方法较强地依赖于初值的选取，并具有精度差、难于收敛于全局最优的缺点。对此，本项目对量子进化算法进行改进，并将其应用于极紫外多层膜的表征和设计之中，通过其高效的并行计算性能和较强的全局和局部寻优能力，对周期Mo/Si多层膜的掠入射X射线反射谱和极紫外反射谱进行多目标的多参数拟合，以此放宽对初值的选取要求，进而获得极紫外多层膜微观结构的高精度表征。在此基础上，将改进型量子进化算法应用于具有宽角度反射带的Mo/Si多层膜的鲁棒膜系设计，使其光谱性能对膜厚误差不敏感，并依据设计结果进行多层膜的研制。本项目拟从量子进化算法的改进和复杂极紫外多层膜的研制两方面进行深入研究，进一步提高极紫外多层膜的研发能力。

中文关键词： 极紫外与软X射线；多层膜；膜系设计；进化算法；

英文摘要： For the problem of multi-parameter evaluations in the researches of EUV multilayers, the results which are based on the general optimization methods strongly depend on the initial values of parameters, and these methods have several shortcomings, such

英文关键词： Extreme ultraviolet and soft X-ray；Multilayer；Multilayer design；Evolutionary algorithm；