用于阴极的金刚石薄膜制备及性能研究

项目名称： 用于阴极的金刚石薄膜制备及性能研究

项目编号： No.10876032

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2009

项目学科： 化学工业

项目作者： 王兵

作者单位： 西南科技大学

项目金额： 34万元

中文摘要： 针对本"NSAF"基金课题提出单位在基于高量子效率碱金属光阴极+金刚石薄膜倍增阴极放大技术方案的高平均输出束流、高亮度注入器研制中的需求，拟用最适于高质量金刚石膜生长的微波等离子体化学气相沉积技术制备有不同B掺杂浓度、同时还有高的物相组成纯度和择优取向性的金刚石薄膜材料，并用高活性的等离子体接触处理工艺对其进行表面氢化处理，在此基础上测试所得材料的二次电子发射性能，研究不同入射电子能量下金刚石薄膜的二次电子透射发射系数及不同掺杂和不同表面处理工艺对发射性能的影响，最终获得二次电子透射发射系数大，且适合于高场强、高真空、高温环境工作的金刚石薄膜阴极材料，掌握材料特性影响其二次电子发射性能的基本规律，分析积累实际应用中所需的一些关键的基本性能参数及变化规律，为进一步开展基于碱金属光阴极+金刚石薄膜阴极放大技术方案的高品质、高平均流强的注入器研究提供物质技术基础。

中文关键词： 金刚石薄膜；二次电子；阴极；注入器

英文摘要：

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