波导光路的飞秒激光加工机理与纳米精度控制研究

项目名称： 波导光路的飞秒激光加工机理与纳米精度控制研究

项目编号： No.90923030

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 廖平

作者单位： 中南大学

项目金额： 56万元

中文摘要： 集成光子器件是光电子技术发展的前沿，波导光路是集成光子器件的核心，其制造精度决定了器件的工作性能。近年来飞秒激光加工的研究进展预示了飞秒激光用于波导光路制造的可能性和优越性。 本项目以阐明波导光路的飞秒激光加工机理和寻求精度控制方法为目标，以飞秒激光改性区物质微观结构变化为核心，研究光波电磁场对波导材料中电子的作用机理，揭示应力场和缺陷的分布对物质近程微观结构中键长、键角及晶格场中电子能级结构变化的相关机制与规律；阐明波导材料微观结构对光路折射率、光子传输速率和吸收率等性能的影响机制；查找微观结构演变对工艺参数变化的响应机制与规律，研究飞秒激光加工工艺对波导光路制造精度的影响规律，为飞秒激光加工波导光路工艺参数的选择提供依据。为自主开发下一代集成光子器件的飞秒激光纳米加工技术提供理论基础。

中文关键词： 飞秒激光；光波导；微观结构；器件性能；

英文摘要：

英文关键词： femtosecond laser；waveguide；microstructure；device property；