非刚性核壳结构有机/无机复合磨料的设计合成及其无损伤抛光机理研究

项目名称： 非刚性核壳结构有机/无机复合磨料的设计合成及其无损伤抛光机理研究

项目编号： No.51205032

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 陈杨

作者单位： 常州大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 核壳结构有机/无机复合微球作为一种新型抛光介质材料，由于其特殊的非刚性力学特性，在实现高效无损伤抛光方面具有重要的潜在应用价值。但非刚性核壳结构有机/无机复合磨料的无损伤抛光机理有待进一步深入研究。本项目拟采用基于电荷作用的化学原位包覆技术，设计并可控合成一系列具有不同微观结构的核/壳复合微球，其有机物内核从结构上可分为实心微球、多孔微球和中空微球，无机物壳层从形态上可分为连续壳层和非连续壳层。系统考察合成条件对复合磨料微观结构、力学特性和抛光性能的影响规律；揭示复合磨料的内核有机物与壳层无机物在材料去除过程中的协同效应；弄清复合磨料的微观结构－力学特性－抛光性能之间的内在联系，探索刚性核壳结构有机/无机复合磨料的无损伤抛光机理，深化和完善现有的CMP模型和机理。本项目的实施将为该类型复合磨料的设计开发，以及在下一代超大规模集成电路制造平坦化工艺中的应用打下基础。

中文关键词： 化学机械抛光；复合磨料；核壳结构；无损伤抛光；摩擦磨损行为

英文摘要： The core-shell structured organic/inorganic composite microsphere as a novel abrasive has an important potential application in efficient and damage-free polishing due to its uniform non-rigid mechanical property. However, the damage-free polishing mechan

英文关键词： chemical nechanical polishing；composite abrasive；core-shell structure；damage-free polishing；friction and wear behavior