固结磨料研磨抛光垫的图案优化与性能评价

项目名称： 固结磨料研磨抛光垫的图案优化与性能评价

项目编号： No.50905086

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 李军

作者单位： 南京航空航天大学

项目金额： 19万元

中文摘要： 提出定偏心研磨抛光条件下，亲水性固结磨料研磨抛光垫的磨损模型，并以此模型优化抛光垫的结构参数；基于光绘和蚀刻技术，提出具有择优图案的固结磨料抛光垫及其相应模具的制备技术；根据固结磨料抛光垫的作用，提出表征固结磨料抛光垫的特征参数，对磨料进行表面改性，改善磨料与基体之间的界面结合性能；探索抛光垫的基体性能、磨料特性与其抛光性能之间的内在联系，为抛光垫的组成优化提供优化指标；实验制备具有择优图案的亲水性固结磨料抛光垫样品与均布突起的固结磨料抛光垫，比较两者抛光后工件的表面质量（尤其是平面度）的差异，并分析其根源。实现固结磨料抛光垫的均匀磨损与自修正，为高速高质量的平面工件的研磨抛光加工创造条件。

中文关键词： 固结磨料研磨抛光垫；图案优化；均匀磨损；制备；性能评价

英文摘要：

英文关键词： Fixed abrasive pad；Pattern optimization；Uniform wear；Preparation；Performance evaluation