高动态环境下微机械气流式倾角传感器及倾斜敏感技术研究

项目名称： 高动态环境下微机械气流式倾角传感器及倾斜敏感技术研究

项目编号： No.61372016

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 张伟

作者单位： 北京信息科技大学

项目金额： 70万元

中文摘要： 通常检测物体水平姿态的传感器，都是利用气体、固体和液体在地球重力场中的摆特性，它们都存在共同的问题，只有当待测物体处于静态或准静态时才可以进行精确测量，在高动态环境下由于外界惯性扰动影响会引起极大的测量误差。 本项目拟开展基础研究和应用基础研究，解决高动态环境下如何消除惯性扰动的关键技术问题。内容包括（1）研究惯性扰动对高动态环境下倾斜敏感的影响机理，建立消除惯性扰动的数学模型；（2）研究以微机械气流式倾角传感器作为主要部件，将其与微机械陀螺组合构成倾斜敏感系统，设计动态姿态解算算法软件，实现消除惯性扰动对倾斜敏感信号影响，使物体在高动态环境下倾角测量能达到很高精度；（3）微机械气流式倾角传感器作为倾斜敏感系统的主要组成部件，对其结构、工艺和信号处理技术等方面进行深入的应用基础研究。 该研究成果可广泛用于车辆、船舶、机器人，以及飞机、导弹等运动体的检测与控制，有很好的科学价值和应用前景。

中文关键词： 微机电；气流式；惯性器件；高动态；倾斜敏感

英文摘要： Generally, sensors measure the horizontal attitude utilize the pendulum characteristic of gas, solid and liquid in the earth gravity field, but there is a common problem existed in them that they can receive precise measure only in the condition with stat

英文关键词： MEMS；gasflow style；inertial device；high dynamic；tilt sensitive