溶胶凝胶法制备两相复合渗流型高性能电介质薄膜及其形成机理研究

项目名称： 溶胶凝胶法制备两相复合渗流型高性能电介质薄膜及其形成机理研究

项目编号： No.51172202

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 杜丕一

作者单位： 浙江大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 随电子信息技术发展，器件小型化和薄膜材料超高性能化越来越重要。作为一类最常用的铁电介电薄膜材料，同样面临着超高性能化的难题。本项目以电子器件小型化为目标，提出在薄膜中引入渗流效应概念，在薄膜的超高性能化方面提出了全新的研究思路。项目利用渗流基本理论，提出渗流型超高介电性能薄膜新概念。通过溶胶凝胶法形成纳米导电相/介电相复相结构，在薄膜中"三维方向"上原位控制成功形成粒径为2~3nm并均匀分散的导电纳米相，在薄膜中实现渗流效应；并通过在膜层中引入高阻薄层抑制电荷输运的思想，制备低损耗渗流型薄膜。为获得既具超高介电常数又具低损耗的高性能薄膜提供了新的研究思路，且目前已取得了重要结果。本项目将通过探索有关导电纳米相对铁电薄膜材料性能的影响规律，建立导电纳米相协同增强薄膜性能的理论和实验新体系，掌握渗流型薄膜的超高性能化产生及作用机理，对推动铁电、介电薄膜材料的高性能化和器件小型化将起到重要的作用

中文关键词： 渗流效应；钙钛矿薄膜；高介电性能；纳米银；空间均匀分布

英文摘要：

英文关键词： percolation behavior；peroveskite phase thin film；high dielectric properties；nano Ag particles；spatially homogeneous dispersion