GPa量级交变机械应力加载下纳米薄膜FET的电特性研究

项目名称： GPa量级交变机械应力加载下纳米薄膜FET的电特性研究

项目编号： No.61404122

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 马铁英

作者单位： 中国计量学院

项目金额： 24万元

中文摘要： 随着纳机电谐振器进一步发展, 特征尺寸由纳米梁减小至纳米线。目前应用于MEMS谐振器的驱动检测已无法达到此精度，基于场效应原理的检测方法不以谐振器尺寸减小而改变，是纳米线谐振器检测的革新。但纳米线上场效应管(FET)在谐振器振动时,会周期性地发生弯曲形变,产生的交变机械应力可达GPa量级,寄生效应会改变FET部分特性参数,干扰纳米梁谐振器本身的检测信号。扣除交变机械大应力导致的背景寄生信号，对校准谐振器场效应检测十分重要。关于GPa级交变大应力研究少有报道,目前文献对交变应力研究仅限于交变电应力，且研究的应力来自IC工艺中残余应力和热应力等,仅达MPa级。本项目测试交变大应力下纳米薄膜FET的电性能，提取FET相关特性参数研究寄生效应。发展探针下压逐点线性加载Gpa级应力、质量块振动产生机械交变应力等测试手段,从原理上减小交变大应力产生的FET寄生效应对纳米谐振器检测的影响。

中文关键词： 纳机械；沟道压阻效应；Gpa级；交变机械应力；

英文摘要： The further development of NEMS resonators reduces feature size from the nano-beam to nano-wire. Current drive detection of the MEMS resonator is unable to achieve such accuracy. The field-effect based detection method is not affected by the resonator siz

英文关键词： NEMS；channel piezoresistive effect；Gpa order？？；alternating machanical stress？；