外差干涉椭偏测量技术中的非线性误差研究

项目名称： 外差干涉椭偏测量技术中的非线性误差研究

项目编号： No.60978041

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 邓元龙

作者单位： 深圳大学

项目金额： 30万元

中文摘要： 本项目利用椭偏测量原理和激光外差干涉法，分别采用横向塞曼激光器和声光调制器设计全对称的Mach-Zehnder型干涉仪，实现反射和透射式外差干涉椭偏测量，以解决纳米级厚度薄膜动态、在线测量的问题。针对系统中存在的膜厚测量非线性误差，拟研究激光源、偏振器件、接收电路等环节引入的非线性误差，以及这些误差项之间的相互作用机理和漂移规律，从而进一步完善外差干涉椭偏测量系统的优化设计理论。在此基础上，拟探索采用神经网络补偿非线性误差的方法：采集不同厚度薄膜的实验数据作为学习样本，以温度的变化作为非目标扰动量，采用模糊预测算法离线训练神经网络，使之逼近系统非线性误差综合模型，并利用训练成功后的神经网络权值等参数实现非线性误差的在线补偿。结合其它先进算法，从神经网络类型、结构、学习规则等角度，研究如何提高非线性误差补偿实时性能的方法。

中文关键词： 薄膜厚度；椭偏测量；外差干涉仪；非线性误差；

英文摘要：

英文关键词： film thickness；ellipsometry；heterodyne interferometer；nonlinear error；