新型MgO掺杂透明导电薄膜及其导电机理的研究

项目名称： 新型MgO掺杂透明导电薄膜及其导电机理的研究

项目编号： No.10974136

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 偰正才

作者单位： 深圳大学

项目金额： 30万元

中文摘要： 采用以轻金属类氧化物-MgO的非晶态薄膜为主体材料，以掺杂C和H等方式，研究其薄膜实现自绝缘相至导电相转换的可能性和可行性，进行下一代新型透明导电薄膜开发的探索性研究。本项目的创新点是1）、直接以MgO绝缘材料为主体薄膜，以掺杂方式研究透明导电薄膜的可行性；2）利用C掺杂的结构和H掺杂的缺陷中心相结合，研究薄膜的新型导电机理。

中文关键词： 氧化镁；掺杂；导电机理；无铟材料；非晶氧化物半导体

英文摘要：

英文关键词： MgO；doping；conduction mechanism；non-indium material；amorphous oxide semiconductor