原子层沉积石墨烯薄膜和透明电极性能的研究

项目名称： 原子层沉积石墨烯薄膜和透明电极性能的研究

项目编号： No.50972091

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 黄磊

作者单位： 上海师范大学

项目金额： 32万元

中文摘要： 石墨烯（Graphene，石墨单层材料）是由单层sp2碳原子组成的六方蜂巢状二维结构，具有众多优良的物理特性，是未来纳米电子器件的理想材料。但是，目前缺少有效的气相生长大面积单层石墨烯薄膜技术，通过化学气相淀积(CVD) 生长的是多层石墨或是和石墨烯的混合薄膜。因此，寻求有效的技术手段抑制多层石墨的生长，是获得大面积单层石墨烯薄膜的技术关键。本项目拟在原子层沉积系统内进行化学气相反应合成石墨烯薄膜的实验，利用其特有源物质的快速切换和清洗系统，在原子层面控制石墨烯的生长过程，抑制多层石墨生长，达到生长连续单层石墨烯薄膜的目的。此外，尝试应用等离子体辅助沉积等手段进一步优化淀积反应工艺，达到降低生长温度的目的。本项目通过原子层沉积石墨烯薄膜的生长及其结构和光电性能研究，为石墨烯在透明电极中的应用提供实验依据。

中文关键词： 石墨烯；原子层沉积；化学气相沉积；透明电极；

英文摘要：

英文关键词： graphene；atomic layer deposition；chemical vapor deposition；transparent electrodes；