硅基电极表面喷雾火焰原位沉积介孔氧化锡及气敏性能研究

项目名称： 硅基电极表面喷雾火焰原位沉积介孔氧化锡及气敏性能研究

项目编号： No.20906027

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 化学工业

项目作者： 胡彦杰

作者单位： 华东理工大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 高效低成本制备介孔氧化锡气敏材料，同时与微电子加工工艺（MEMS）结合制备传感器是目前国际关注的热点之一。本项目拟发展硅基电极表面喷雾火焰原位沉积介孔氧化锡，并通过构筑微传感器研究其气敏性能。针对喷雾火焰原位沉积介孔二氧化锡过程，重点研究雾滴中的热质传递和化学反应特征，揭示火焰中湍流强度、溶剂蒸发燃烧速率、前驱体水解反应和模板剂结构导向作用等，对介孔二氧化锡材料结构及气敏性能的影响规律，探索高温气相燃烧过程中介孔结构的自组装机理，为喷雾燃烧沉积介孔二氧化锡的结构调控和微传感器的性能优化提供依据。

中文关键词： 火焰燃烧；二氧化锡；传感器；；

英文摘要：

英文关键词： flame synthesis；SnO2；gas sensor；；