二元光子筛及其在高分辨率系统中的应用研究

项目名称： 二元光子筛及其在高分辨率系统中的应用研究

项目编号： No.60908025

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 侯昌伦

作者单位： 浙江大学

项目金额： 22万元

中文摘要： 光子筛能够有效的抑制光轴方向的高阶衍射和横向旁瓣效应，改善成像对比度，得到更为锐利的焦点，在高分辨率成像、超细线宽光刻技术方面有着非常好的应用前景。但是目前光子筛都为振幅型，衍射效率只有35%左右，不利于实际应用，特别是在高分辨率成像上的应用。结合光子筛与二元衍射光学元件，提出一种新型的具有更高衍射效率的光子筛- - 二元光子筛，这种光子筛是在对应菲涅尔透光环带及不透光环带上都分布大量透光小孔，而分布在透光环带与不透光环带上的小孔有π20301;相差。研究二元光子筛的设计理论方法；根据设计指标设计二元光子筛，通过多次光刻、蚀刻等微加工工艺加工制二元光子筛样品；根据制作的二元光子筛，研究二元光子筛在高分辨系统中的应用；并对研制的采用二元光子筛的高分辨率系统展开如衍射效率、成像分辨率等特性测试。

中文关键词： 光子筛；二元光学；衍射光学；微光学；

英文摘要：

英文关键词： Photon Sieve；Binary Optics；Diffractive Optics；Micro Optics；