软化学法制备无铅压电陶瓷薄膜的形成机理与性能研究

项目名称： 软化学法制备无铅压电陶瓷薄膜的形成机理与性能研究

项目编号： No.51172108

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无机非金属材料学科

项目作者： 朱孔军

作者单位： 南京航空航天大学

项目金额： 62万元

中文摘要： 压电薄膜微力传感器/驱动器在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域的应用越来越重要，本研究针对目前环境友好型铌酸钾钠压电薄膜制备方法中的不足,结合软化学方法中溶胶-凝胶法和水热法制备薄膜的优点，首次采用水热-溶胶凝胶法制备铌酸钾钠无铅压电薄膜，减少薄膜的宏观缺陷和裂纹，以便减少薄膜电极间的漏电流值，提高薄膜的压电特性；研究水热处理基板、水热法在基板表面生长的ZnO等取向性晶种以及水热处理取代溶胶凝胶法的后期退火热处理对薄膜形成的影响；通过对薄膜的组成、微观结构以及介电、压电性能测试分析研究，得出反应条件的影响规律，探索水热-溶胶凝胶法制备薄膜的反应机理。获得具有我国自主知识产权的研究成果，为我国压电铁电陶瓷的无铅化革命做出贡献，同时促进无铅压电陶瓷薄膜在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域的应用。

中文关键词： EDTA辅助溶胶凝胶法；铌酸钾钠；钙钛矿结构；薄膜；热处理工艺

英文摘要：

英文关键词： EDTA assisted sol-gel mothod；Potassium sodium niobate；Perovskite structure；Thin films；Thermal treatment