大面积、高深-宽比微纳结构（HARMS）的超精密在线测量基础技术研究

项目名称： 大面积、高深-宽比微纳结构（HARMS）的超精密在线测量基础技术研究

项目编号： No.90923031

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 武器工业

项目作者： 居冰峰

作者单位： 浙江大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 从"亚接触式"测量机理出发，克服传统扫描探针测量设备在测量范围、速度以及深-宽比三个重要测量参数之间无法平衡的缺陷，提出如下研究策略：（1）开发一种全新的、有别于传统直角坐标系扫描模式（Raster Mode），而基于极坐标系的螺旋高速扫描模式（Spiral Mode），此模式不仅可以提高测量速度和测量范围，同时螺旋扫描模式正是金刚石超精密切削加工复杂三维微纳结构的标准装置，可以实施在线测量，以此新技术为创新思想和手段，开发大面积、高深-宽比三维微纳结构超精密在线测量设备；（2）研制可靠的长-径比大于50:1的纯钨材质扫描探针制作技术；（3）解决高速、高深-宽比微纳结构在线测量过程若干关键基础技术问题，对高速扫描过程中探针的动力学特性、端部磨损以及自寻位模型等进行研究，实现微纳结构三维形貌超的精密测量，进而形成大面积、高深-宽比三维微纳结构超精密加工质量控制关键技术。

中文关键词： 大面积;高深-宽比微纳结构（HARMS）；大长径比99.999％纯钨扫描探针；螺旋高速扫描系统；扫描探针显微镜；

英文摘要：

英文关键词： HARMS；tungsten probe；ultraprecision measurement；spiral scanning mode；