多场耦合下300mm大直径单晶硅氧的掺杂机理研究

项目名称： 多场耦合下300mm大直径单晶硅氧的掺杂机理研究

项目编号： No.61366005

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李进

作者单位： 宁夏大学

项目金额： 44万元

中文摘要： 近年来，太阳能电池的大力应用促进了单晶硅的广泛研究。氧作为太阳能级直拉单晶硅中的非金属杂质，在晶体中可形成微缺陷，影响晶体的电阻率，造成后期制备太阳能电池性能不稳定。本项目首先采用2D/3D复合数值模型模拟多场耦合作用下炉内的热场、气体流场和磁场的分布状况；其次，通过研究熔体-坩埚边界薄层内熔体的流动和氧的分布，建立氧的引入机理，并分析工艺参数对大直径坩埚内的熔体对流和氧的传输方式的影响；同时，探讨温度梯度与固液界面和氧分凝扩散的相互影响关系，确定晶体生长速度与氧含量之间的关联性。最后,建立起完善的大直径单晶硅中氧的掺杂机理，并用试验加以验证，为生产高品质大直径单晶硅提供理论指导。

中文关键词： 光伏材料；单晶硅；数值模拟；熔体对流；固液界面

英文摘要： Recently, the extensive application of solar energy accelarate the reserch of the single crystal silicon. Oxygen is one of the main non-metallic impurities in the crystal which can form the micro-defects. It will influnce the resistivity of the crystal, r

英文关键词： photovoltaic materials；single crystal silicon；numerical simulation；melt convection；solid/liquid interface