自上而下的硅纳米线及其表面生物组装的可控批量制造技术

项目名称： 自上而下的硅纳米线及其表面生物组装的可控批量制造技术

项目编号： No.91123037

项目类型： 重大研究计划

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 王跃林

作者单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

项目金额： 300万元

中文摘要： 作为一种重要的纳米结构,硅纳米线具有一些特殊的纳米效应，且比表面积高，在FET器件中具有高的表面调制效率，与生物制造技术结合就能实现超高灵敏生物传感，在生物、医学、环境和反恐等领域具有重要应用前景。但目前在批量制造方面，还存在硅纳米线批量制造能力不足、硅纳米线表面的生物探针组装控制能力不强、缺乏多功能（通用性）生物探针的组装能力等问题。本项目提出开展基于自上而下方法的硅纳米线与生物功能探针组装的批量化可控制造技术研究，充分利用硅材料的选择性差异，发展对传统光刻、腐蚀工艺中的精细控制，制造出一致性良好的硅纳米线，进而在硅纳米线传感界面上有序组装多种生物功能探针（包括蛋白质探针和基因探针），大幅提高其生物识别和捕获性能，改善信噪比，从而为未来高灵敏度、高选择性的硅纳米线FET生物传感器件的批量化制造奠定坚实的技术基础，并为基于硅纳米线及相关生物修饰的跨尺度制造提供可借鉴的新原理和新方法。

中文关键词： 硅纳米线；生物组装；批量制造；可控制造；FET传感器

英文摘要：

英文关键词： Silicone nanowire；Biological assembly；Batch fabrication；Controlable fabrication；FET sensor