高性能红外微光学元件的飞秒激光微纳制备

项目名称： 高性能红外微光学元件的飞秒激光微纳制备

项目编号： No.61405154

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 边浩

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 26万元

中文摘要： 红外微光学元件具有体积小、重量轻和易于集成等优点，在军用和民用领域都具有十分重要的应用价值，但目前在红外微光学元件的超精细制备方面仍面临着诸多技术挑战。本项目针对红外微光学元件制备中影响效率、精度、形貌控制等关键问题，提出了一种红外微光学元件的飞秒激光湿法刻蚀制备方法。拟通过深入研究红外光学材料在飞秒激光作用下的激光能量沉积和扩散机制、材料晶格结构破坏、表面微结构演变和形成机制等，探索飞秒激光对红外光学材料的靶向改性机制，以及红外光学材料激光改性区的选择性高定域去除机制和表面化学抛光机制，从而实现红外微光学元件的高效、高质量制备。并在研究中逐步澄清激光对红外光学材料改性的作用机理以及材料的化学湿法刻蚀和抛光机理，发展和形成红外微光学元件的飞秒激光湿法刻蚀高效、高质量制备新方法。

中文关键词： 飞秒激光；微加工；红外微光学元件；微透镜阵列；

英文摘要： The infrared micro-optical components have important applications in military and civilian fields for the advantages of small volume, light weight, flexible and easy to integrate. But it is still a great challenge to fabricate the high performance infrare

英文关键词： Femtosecond laser；Micro fabrication；Infrared micro-optical devices；Microlens array；