加速计耦合激光自混合干涉仪微纳米测量关键技术研究

项目名称： 加速计耦合激光自混合干涉仪微纳米测量关键技术研究

项目编号： No.51405240

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 郭冬梅

作者单位： 南京师范大学

项目金额： 24万元

中文摘要： 激光自混合干涉仪以其固有的结构简单、紧凑、易准直等特点而备受瞩目。已见报道的激光自混合干涉微位移测量技术多用于实验室计量。为了使其工作更可靠, 更能适合加工现场环境的测量, 在前期研究的基础上，本项目创新性的将半导体激光自混合干涉技术和MEMS加速度计相结合，拟研制一种MEMS加速计耦合半导体激光自混合干涉仪，可以同时满足微纳米级位移测量的高精度、微型化和现场化的要求。为了提高自混合干涉的位移测量精度，将正弦电流调制技术引入自混合干涉。研究相位解调方法，实现高精度的微纳米级位移实时测量。为了满足微型化和现场测量的要求，利用固定在半导体激光器上的MEMS加速计测量由外部干扰带来的干涉仪本身的振动，对微位移测量的结果进行校正。研究成果将为半导体激光自混合干涉位移传感系统的实用化道路提供有益的参考。

中文关键词： 自混合干涉；MEMS 加速度计；位移测量；调制解调技术；位移补偿

英文摘要： Laser self-mixing interferometry has been increasingly of interest because of simplicity, compactness and easy alignment. The reported laser self-mixing interference for micro/nano displacement measurement technique is mostly used in laboratory measuremen

英文关键词： Self-mixing interference；MEMS accelerometer；Displacement measurement；Modulation and demodulation technique；displacement compensation