光学平面面形的高精度光纤点衍射移相干涉测量技术研究

项目名称： 光学平面面形的高精度光纤点衍射移相干涉测量技术研究

项目编号： No.61178042

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 陈凌峰

作者单位： 北京理工大学

项目金额： 65万元

中文摘要： 研究利用光纤端面点衍射产生的理想球面波作为参考基准，实现光学平面的高精度(≤0.01λ)干涉测量。拟采用双光纤的点衍射移相干涉测量方案，通过引入平板分束镜，分两步测量得到被测平面镜的波差，再经角度修正得到准确的平面面形测量结果。由于点衍射球面波的精度相对于标准平面镜至少高出200倍以上，以高精度的点衍射球面基准来保证平面面形的测量精度，是本项目与普通平面干涉测量方法的本质区别。本研究将大幅度提高平面面形的测量精度，解决液面基准法极易受环境影响因而实用困难，三平板等绝对方法的测量过程复杂，效率低下，对旋转定位机构要求高等难题。有望为我国正在开展的超精密加工及紫外光刻重大专项研究提供一种新的高精度、高效率的平面面形干涉测量方法。

中文关键词： 平面；测量；点衍射；干涉；光纤

英文摘要：

英文关键词： flatness；measurement；point diffraction；interferometer；optical fiber