MEMS扫描微镜光谱仪的稳定机制研究

项目名称： MEMS扫描微镜光谱仪的稳定机制研究

项目编号： No.61368004

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 叶坤涛

作者单位： 江西理工大学

项目金额： 42万元

中文摘要： 为了适应科学技术对近红外光谱仪提出的集成化、微小型化以及低成本的要求和发展趋势，本项目重点研究MEMS微镜技术应用于近红外光谱仪中的原理和方法，尤其是影响此光谱仪稳定性的机制。本项目从理论上阐明MEMS微镜光谱仪的稳定性与MEMS微镜的材料、工艺以及性能之间的关系，同时实现高稳定性的微型长波近红外光谱仪样机，从实验上验证MEMS微镜光谱仪的稳定机制，最终为提高MEMS微镜长波近红外光谱仪的稳定性提供理论和实验指导。

中文关键词： 微机电；微镜；光谱仪；近红外；卡西米尔力

英文摘要： Under the background on having a trend of spectrometer miniaturization and integration, a method and the principle of realizing miniaturized Near InfraRed (NIR) spectrometer using MEMS scanning micromirror technology, are studied. The stability mechanism

英文关键词： MEMS；Scanning Micromirror；Spectrometer；Near infra-red；Casimir force