用于光互联中的低损耗环氧树脂多模光波导的制备及相关基础研究

项目名称： 用于光互联中的低损耗环氧树脂多模光波导的制备及相关基础研究

项目编号： No.61167003

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 王书荣

作者单位： 云南师范大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 短距离光互联是未来互联方向。高带宽、低损耗的聚合物多模光波导是光互联中的重要组成部分。目前，多数采用反应离子刻蚀法或激光直写法制作聚合物光波导，但制作成本高，且传输损耗大。本项目采用光刻方法研制环氧树脂(Epoxy resin)多模光波导。通过研究环氧树脂的紫外光固化特性,特别是对环氧树脂的化学特性以及新型有机溶剂溶解环氧树脂的的机理的研究，获取一种快速有效形成波导芯层形状的有机溶剂显影液。研究非接触暴光波导芯层宽度与距离的关系。通过研究紫外暴光和高温硬化工艺条件对波导热特性的影响来提高波导的热稳定性；尝试把所制作的环氧树脂波导和印刷电路板(PCB)压制在一起来研究波导的老化特性。最终在环氧玻璃纤维板(FR-4)上研制出可靠的、低成本、低损耗（小于0.08dB/cm ，@ 850nm）、热稳定性高的环氧树脂多模光波导，为环氧树脂多模光波导在光互连中的应用奠定坚实基础。

中文关键词： 环氧树脂；光刻；多模光波导；光损耗；可靠性

英文摘要：

英文关键词： Epoxy resin；Photolithography；Multimode optical waveguide；Optical loss；Reliability