集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究

项目名称： 集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究

项目编号： No.61234007

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 杨晋玲

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 310万元

中文摘要： 高度集成化、小型化、高频率、低功耗是未来无线通信系统发展的必然趋势。射频收发组件小型化的关键技术瓶颈是滤波器和振荡器的性能限制。基于MEMS谐振子的高性能射频微纳谐振器件是能取代基于陶瓷、石英等材料的片外振荡器和滤波器的理想元件。本项目将对高性能射频微纳谐振器件的关键科学和技术问题进行系统研究。发展提高谐振频率的新原理和方法，揭示微纳谐振子的能量损失机理及其尺度效应，力争在GHz以上新型谐振原理和高Q值的实现方面取得实质性突破，制作高谐振频率（最高> 2 GHz）、高Q值（最高>10000）的新谐振子。研究射频微弱信号的失真发生机理及高保真检测方法，研究微纳米结构的构筑技术、正反馈驱动和温度补偿方法，研制高性能振荡器（频率稳定度< 15 ppm）和滤波器（插损<15 dB）原型器件，为大规模制造可集成的高性能射频微纳谐振器件奠定基础。发表SCI/EI论文25-30篇，申请发明专利10项以上

中文关键词： 微机电系统；圆盘谐振器；振荡器；滤波器；射频封装

英文摘要： Next generation wireless communication system is developing towards miniaturization, low power consumption, high frequency, and high integration. The main technology bottleneck is the oscillator and filter, which have either low Q values or can only be in

英文关键词： MEMS；Disk resonator；Oscillator；Filter；RF packaging