用于光谱分析的空间调制MOEMS红外干涉系统的理论与技术研究

项目名称： 用于光谱分析的空间调制MOEMS红外干涉系统的理论与技术研究

项目编号： No.60977062

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 梁静秋

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 44万元

中文摘要： 目前，环境、医疗、空间探测、气象、军事分析、刑事技术以及反恐防化等诸多领域对高精度、微小型化红外光谱分析系统提出了十分迫切的需求。针对现有微小型红外光谱测量仪器存在的技术难题，本项目提出一种基于空间调制的MOEMS红外干涉系统，以本系统为核心的微小型傅里叶变换光谱仪(FTS)可有效实现中波红外光谱测量，解决了空间色散原理的微型光谱仪因信噪比低、光通量小、光谱范围有限而不能有效实现红外宽光谱精确测量的问题以及时间调制型FTS因运动部件而引起的系统加工和装调困难、重复性和可靠性难以保证以及实时性较差的问题。本项目拟在理论上进行仿真模拟和误差分析，在技术上对多级微反射镜、光束准直器、聚束单元的设计和制作以及红外微系统的装调方法研究，并探索解决光均匀化、复消色差、象差校正及降低噪声等问题，提供模型样机。理论和关键技术研究成果可为其他微小型红外光学系统所借鉴。在国际上未见报导，具有自主知识产权。

中文关键词： 干涉系统；红外光谱；空间调制；微光机电系统；

英文摘要：

英文关键词： interference system；infrared spectrum；space modulation；MOEMS；