基于温和等离子体沉积技术的n型晶硅HIT太阳能电池的制备与研究

项目名称： 基于温和等离子体沉积技术的n型晶硅HIT太阳能电池的制备与研究

项目编号： No.61404061

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 肖少庆

作者单位： 江南大学

项目金额： 26万元

中文摘要： 异质结HIT太阳能电池结合了常规晶硅电池高转化效率、高稳定性与非晶硅薄膜电池低温生长工艺的优点，是当今太阳能电池研究的一个热点。针对松下公司对HIT电池尤其是利用PECVD制备高质量无损伤非晶硅薄膜的技术封锁，本项目提出一种可避免等离子体损伤的温和等离子体沉积方案，即非平行板式电容耦合等离子体（CCEP）沉积技术。研究内容主要包括（1）实现稳定的CCEP容性放电，研究等离子体对衬底表面造成损伤的物理机制；（2）基于CCEP制备本征和掺杂非晶硅, 研究其微结构及其在n型晶硅表面的钝化效果;（3）制备并研究单结HIT太阳能电池的性能，采用嵌入金纳米颗粒的方法改善前端电极的输运特性，研究等离子体损伤对电池性能的影响。本项目提出的CCEP沉积技术通过降低等离子密度及约束正离子运动方向，有望抑制沉积过程中等离子体对衬底表面的损伤，提高晶硅表面钝化效果，为制备高效HIT太阳能电池提供理论和技术支持。

中文关键词： 温和等离子体；非晶硅薄膜；表面钝化；二维半导体；

英文摘要： Si-based heterojunction with intrinsic thin-layer (HIT) solar cells, which combines the advantages of high conversion efficiency and high stability of crystlline silicon solar cells with that of low-temperature process of thin film solar cells, is a hot t

英文关键词： Soft plasma；amorphous silicon；surface passivation；2D semiconductor；