基于聚焦离子束刻蚀的三维表面等离子纳米结构的研究

项目名称： 基于聚焦离子束刻蚀的三维表面等离子纳米结构的研究

项目编号： No.61405031

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 司光远

作者单位： 东北大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 以聚焦离子束刻蚀系统为制备工具，研究通过使用简单的横向和纵向或±45°两次刻蚀的方法得到三维表面等离子体纳米结构并构建新型负折射率超材料，进一步在理论计算（有限时域差分法）和实验测试（紫外-可见-近红外显微分光光度计）两方面对相应的三维结构的光学特性进行系统的研究和表征。此外，深入挖掘探索相关三维纳米结构与液晶等电光材料的兼容性，得到主动可调的光学器件并进一步扩大其应用范围。

中文关键词： 三维纳米结构；表面等离子体；聚焦离子束刻蚀；超材料；

英文摘要： Using focused ion beam milling, a new novel fabrication method based on transverse and longitudinal or ±45°dual-milling process is investigated to obtain three dimensional plasmonic crystal nanostructures and construct fascinating metamaterials with negat

英文关键词： three dimensional nanostructures；surface plasmon；focused ion beam milling；metamaterials；