纳米尺度CMOS工艺下的非接触测试关键技术的研究

项目名称： 纳米尺度CMOS工艺下的非接触测试关键技术的研究

项目编号： No.61274034

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 虞小鹏

作者单位： 浙江大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 作为今后集成电路设计的主要方向，纳米尺度的CMOS集成电路拥有更高的工作频率而更低的功耗，但是面临着可靠性与测试技术的巨大挑战。本项目研究纳米尺度CMOS工艺下的集成电路测试的非接触式测试方法的关键技术。其中包括缺陷与偏差导向型的测试技术；器件测试物理量的片内外映射技术；内建式的电路测试技术；高效近场非接触耦合技术；可寻址阵列电路测试的寄生补偿技术。以此为基础构建一个非接触式的纳米尺度CMOS集成电路测试理论与系统。本项目将微电子、电路与系统、测试、无线通信等多个学科的理论与技术相结合，有非常重要的科学研究价值和实践意义。项目中验证的电路与系统可以用于产业化，带来很好的经济效益和社会效益。

中文关键词： 非接触式测试；纳米尺度CMOS集成电路；射频集成电路；可寻址测试电路；可靠性

英文摘要： Nano-scale CMOS technology offers higher operating frequency but low frequency, hence it is celebrated as the future of circuit design. Nevertheless, it faces great challenges in reliability and testing. This project aims at key factors in contactless testing in nano-scale CMOS circuits. It includes several important techniques such as defect-oriented testing, mapping of internal and external measurement parameters, built-in-self-test circuits, high-efficiency near-field communication,parastic removing in addressable array,etc. Hence to construct a high performance contactless testing system. It project is an inter-disciplinary one which cross micro-electronices, circuits and systems, testing, wireless communication. It has a great value in both scientifical research and industrial applications. The verified solutions of circuits and system can be industrized in the future to obtain maximized economic and social value.

英文关键词： contactless testing；nano-scale CMOS Integrated circuits；Radio frequency integrated circuits；addressable testing circuits；reliability