基于磁控溅射和金属诱导结晶的多晶硅薄膜

项目名称： 基于磁控溅射和金属诱导结晶的多晶硅薄膜

项目编号： No.61176059

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 王健

作者单位： 清华大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 生产成本是限制太阳能电池进行大规模商业应用的主要因素。现有的薄膜硅太阳能电池虽然具有低成本的潜力，但受制作技术的限制，性价比尚不如主流的晶硅电池。本课题的目标研究出一种成本极低、可用于太阳能电池的多晶硅薄膜制作技术。课题的主要创新点在于采用磁控溅射和金属诱导晶化来制作高结晶质量、电学特性可控的多晶硅薄膜。主要研究内容包括：满足太阳能转化要求的低含氮量非晶硅薄膜的磁控溅射技术；磁控溅射硅薄膜金属诱导结晶的物理机理、制备方法和物性分析；诱导结晶的多晶硅薄膜的电学特性和陷光结构。通过本项目的研究，有望为低成本的薄膜太阳能电池开发出一条新的技术路线。

中文关键词： 多晶硅薄膜；磁控溅射；金属诱导晶化；太阳能电池；

英文摘要：

英文关键词： polysilicon；thin film；magnetron sputtering；MIC；solar cell