大规模复杂晶圆制造自动化物料运输系统的建模与性能分析

项目名称： 大规模复杂晶圆制造自动化物料运输系统的建模与性能分析

项目编号： No.71201048

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 管理科学与工程

项目作者： 吴立辉

作者单位： 河南工业大学

项目金额： 19万元

中文摘要： 晶圆制造自动化物料运输系统（简称AMHS）具有大规模、复杂和随机性特点，为从AMHS设计阶段提高晶圆制造AMHS的物料运输整体效率，本项目基于复杂性科学理论及思想，从AMHS降阶、AMHS建模和AMHS性能分析三个角度系统深入研究AMHS建模与性能分析问题。提出AMHS的系统分解方法、AMHS的子系统解耦方法和AMHS的子系统随机特性模型；提出AMHS子系统运行过程的抽象方法、扩展马尔可夫模型的建模方法和基于扩展马尔可夫模型的性能分析模型；提出AMHS子系统性能指标描述方法和AMHS性能指标的聚合表达方法；开发AMHS建模与性能分析原型系统，验证本项目提出的理论和方法。本项目的研究，对丰富AMHS建模与性能分析的理论和方法体系、提高晶圆制造AMHS的整体运行效率等具有重要的理论意义和实际应用价值。

中文关键词： 晶圆制造；自动化物料运输系统；性能分析；马尔可夫模型；大规模

英文摘要： The automated material handling system (AMHS) for semiconductor wafer fabrication system has its own characteristics, such as large scale, complexity and stochastic. To improve the AMHS's overall operating efficiency during the system design stage, the modelling and performance analyzing methods for AMHS are investigated from the aspects of AMHS decomposing, modelling, and performance analyzing, based on the complexity science theory. The main researches of the project are as follows: (1) Propose an AMHS decomposing approach, an AMHS sub-system decoupling method, and a stochastic character model of AMHS subsystem. (2) Present an extracting method for AMHS sub-system's working process, an extended Markov chain modeling approach, and a performance analysis model based on extended Markov chain model. (3) Propose an AMHS subsystem's performance index describing method, and an AMHS's performance index polymerizing approach. (4) Develop an AMHS modelling and performance analyzing prototype system to verify the proposed approaches above. The main contributions of the project are to enrich the theory methods of AMHS modelling and performance analyzing and to improving AMHS's overall operating efficiency.

英文关键词： Wafer fabrication；Automated material handling system；Performance analysis；Markov chain model；Large-scale