面向信息不完备的半导体制造过程动态调度理论与方法

项目名称： 面向信息不完备的半导体制造过程动态调度理论与方法

项目编号： No.51375038

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 曹政才

作者单位： 北京化工大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 微电子行业大中型企业制造过程调度问题具有大规模、不确定、带复杂约束及多目标等综合复杂性，实际半导体企业的动态调度主要依赖于人工经验，凭手工方式来完成，严重制约企业制造过程的优化运行水平。为此，本项目以积累大量具有不完备信息特征数据、专家经验和机理知识为前提，将智能方法与数学方法相结合来研究半导体制造过程动态调度理论与方法。首先，研究具有不完备信息特征的数据处理方法；其次，构建基于自适应协调的全局简化模型、单元精确模型与关键参数预测模型相综合的智能化调度模型；再次，研究具有推理及学习机制的基于MAS技术的分布式动态调度全局优化算法、全局协调优化的单元动态调度规则挖掘算法及扰动特征数据驱动的重调度策略；最后，结合实际应用背景对项目提出理论及方法进行验证。通过本项目研究，有望在理论上对已有生产调度研究进一步丰富与深化，并在应用上获得对实际制造系统的调度优化具有重要指导和借鉴意义的研究成果。

中文关键词： 半导体制造过程；动态调度；数据驱动；优化；应用

英文摘要： The scheduling of production process in large and medium microelectronic enterprises remains to be a complicated issue characterized by large-scale, uncertain, complex-constrainted and multiobjective. However, the dynamic scheduling in practice is mainly

英文关键词： semiconductor manufacturing process；dynamic scheduling；data-driven；optimization；application