基于跨尺度关联的大口径多层介质膜光栅制作无损检测

项目名称： 基于跨尺度关联的大口径多层介质膜光栅制作无损检测

项目编号： No.11375175

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 徐向东

作者单位： 中国科学技术大学

项目金额： 96万元

中文摘要： 多层介质膜光栅是短脉冲强激光系统中的核心元件之一，其高衍射效率、高损伤阈值、良好波前和大口径的苛刻要求是普通商业光栅所远远不能满足的。大口径多层介质膜光栅制作工艺中，光栅微结构的有效、可靠检测是限制其发展及提高性能的瓶颈问题之一。本项目拟将研究一种新的基于跨尺度关联的提高大口径多层介质膜光栅性能的无损检测方法。利用扫描电镜、原子力显微镜、光学显微镜和衍射效率测量等常规检测手段，通过光学显微镜下图像特征的物理机制分析，建立光栅不同衍射效率分布区域的光学显微镜下图像特征与扫描电镜、原子力显微镜检测的光栅微结构之间的对应关系。从而利用衍射效率测量及光学显微镜下图像特征，就能方便地判断光刻胶光栅掩模能否进入离子束刻蚀和能否刻蚀出均匀的高衍射效率多层介质膜光栅。该方法操作简单、测量快速准确，不需要再检测光栅微结构。本项目的成功实施既丰富了光栅制作中的无损检测方法，也对大科学工程实际应用具有重要意义。

中文关键词： 多层介质膜光栅；衍射效率；结构色；严格耦合波；

英文摘要： Multilayer dielectric grating(MDG) is one of the essential components for short-pulse, high-energy laser system.Its rigorous requirments,such as large aperture, good wavefront quality,high optical diffraction efficiency and high laser-damage threshold,exc

英文关键词： multilayer dielectric garting；diffraction efficiency；structural color；rigorous coupled wave analysis；