项目名称: 基于UV-LIGA工艺的微型腔体滤波器关键技术研究
项目编号: No.61401405
项目类型: 青年科学基金项目
立项/批准年度: 2014
项目学科: 无线电电子学、电信技术
项目作者: 段俊萍
作者单位: 中北大学
项目金额: 25万元
中文摘要: 基于UV-LIGA工艺加工的微波器件由于体积轻巧、精度高、频率高、信号容量大而成为现在射频微波电子设备的研究目标。本项目研究的RF微波器件大都在毫米级别,采用机械加工难度较大,因此提出一种新型的加工方法,拟采用SU8、KMPR等光敏材料制作高深宽比模具,采用多层多次对准光刻工艺和多层多次微结构的电铸工艺,对工艺过程出现的各种问题进行分析、总结,最终得到一套完整的基于UV-LIGA工艺的微波器件加工技术参数。本项目将以Ka波段(中心工作频率约为38GHz)的毫米波腔体滤波器作为具体研究内容,对滤波器腔体进行结构设计和优化仿真,设计出合理的加工工艺流程,最终制备出结构简单、性能优越的微波器件。
中文关键词: 微加工;UV-LIGA;滤波器;电铸;
英文摘要: Since microwave devices based on UV - LIGA technology have the advantages of small volume , high precision, high frequency and large capacity ,they have became the research target of RF microwave electronic devices now . The RF spectrum microwave devic
英文关键词: Micromachining;lithography;Filters;Electroform;