金属吸附层对纳米金属/Si接触体系电学特性的调控

项目名称： 金属吸附层对纳米金属/Si接触体系电学特性的调控

项目编号： No.11374058

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 蔡群

作者单位： 复旦大学

项目金额： 72万元

中文摘要： 金属/半导体接触是固体物理中重要的基础性问题，是集成电路金属化系统一个必要组成部分，在半导体器件中应用非常广泛。器件线度的不断减小引发大量新问题和新现象出现，纳米尺度金半接触体系的电传输特性与宏观接触体系相比发生了很大改变。目前已有的实验结果存在颇多争议之处，其内在物理机制也很不明确。本项目拟利用超高真空扫描隧道显微术的电学测试装置及其它相关实验手段，从Si表面生长的金属纳米岛等低维体系入手，系统研究纳米金半接触体系的电传输特性，观测其与小尺寸或量子化效应有关的物理现象。通过引入Ag、Pb、Bi等金属吸附层或其表面再构，调控表面电子结构和导电状态以及纳米岛的尺度分布；结合采用气体吸附等处理方法，重点探索表面电导、隧穿效应等因素的作用及其规律；进而通过一定的理论分析研究，期望揭示掌握纳米金属/Si接触体系电传输特性背后的物理机制，获得具有重要学术价值的研究成果。

中文关键词： 扫描隧道显微术；Si表面；金半接触；表面电导；石墨烯

英文摘要： Metal-semiconductor contact is a fundamental issue in solid state physics, and it has very important applications in semiconductor devices and integrated circuits. The dimension shrinking of devices to the nanometer scale gives rise to the appearance of m

英文关键词： Scanning tunneling microscopy；Si surface；Metal/semiconductor contact；Surface conduction；graphene