纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究

项目名称： 纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究

项目编号： No.61401458

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 毛海央

作者单位： 中国科学院微电子研究所

项目金额： 30万元

中文摘要： 本项目提出了一种并行制备纳米纤维森林结构的新型方法，可以方便、快捷、批量地加工纳米纤维森林结构，所制备的纳米纤维森林结构在1-5μm红外波段内吸收效率高于95%。该新型制备方法具有高度的可重复性、可调控性和灵活性，又与MEMS器件加工工艺有着高度的兼容性。在理论研究纳米纤维森林结构形成机理及其红外吸收特性的基础上，本项目将开发一套实现纳米纤维森林结构与MEMS红外传感器集成制备的新型工艺方法。纳米纤维森林结构新型制备方法的研究和开发，突破了现有纳米森林结构在批量并行加工、方便快速加工、与器件集成加工等方面的限制；另外，实现高吸收率纳米纤维森林结构在MEMS红外传感器中的应用，可以有效提高传感器的性能，从而开辟一条制造工艺简单、性能优化、成本低廉的MEMS红外传感器的新道路。本项目的研究结果将为其它MEMS传感器的研制提供具有启发性的借鉴，同时该结果也将在多种物联网系统中获得应用。

中文关键词： 纳米森林结构；等离子体再聚合；红外吸收特性；MEMS传感器；表面增强拉曼散射

英文摘要： A fast and novel approach for parallel fabrication of nanofiber forests is proposed. In wavelength range of 1-5 μm, the nanofiber forests exibit infrared (IR) absorptance higher than 95%. The approach is with good repeatability, controlability and fle

英文关键词： Nanoforests；Plasma Repolymerization；Infrared absorption features；MEMS Sensors；Surface-enhanced Raman Scattering