NEMS/MEMS谐振器非线性振动的解析逼近与稳定性研究

项目名称： NEMS/MEMS谐振器非线性振动的解析逼近与稳定性研究

项目编号： No.11402095

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 于永平

作者单位： 吉林大学

项目金额： 28万元

中文摘要： 随着NEMS/MEMS技术渗透到社会生活的各个领域，其工作的可靠性及稳定性日益受到人们的关注。微纳机电谐振器动力学响应直接影响微纳米产品的工作效果，因而研究清楚微纳机电谐振器的非线性动力学响应与表面效应、吸收分子质量与能量、机电耦合作用等物理和几何量的依赖关系，揭示微纳机电谐振器的物理本质，是成功设计及应用微纳机电器件的关键。本项目将考虑这些主要因素,建立改进的微纳机电系统连续体非线性振动模型、考虑吸收分子效应的多尺度模型。研发简洁高效、高精度的解析逼近技术求解这些模型并判别解的稳定性，揭示微纳机电谐振器结构非线性动力学响应机理。本项目将阐明解析逼近技术构造原理。研究成果可以为微纳机电器件的设计、优化及应用提供理论指导，还可推广用于研究其他结构非线性振动模型的求解与稳定性判别。

中文关键词： 非线性振动；解析逼近；微纳机电系统；稳定性；吸合电压

英文摘要： With the NEMS/MEMS technology infiltrating into our daily life, stability and reliability of NEMS/MEMS devices have been attracted attention. Dynamical behavior of NEMS/MEMS resonators which are the core assemblies of MEMS/NEMS devices directly affect the

英文关键词： Oscillation；Analytical Approximation；MEMS/NEMS；Stability；Pull-in voltage