玻璃衬底上p型自掺杂硅纳米线阵列的制备及在径向异质结光伏器件中的应用

项目名称： 玻璃衬底上p型自掺杂硅纳米线阵列的制备及在径向异质结光伏器件中的应用

项目编号： No.61376068

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 栗军帅

作者单位： 兰州大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 由于其独特的光、电学性质，基于纳米线结构的径向pn结光伏器件具有传统平面结器件所无法比拟的潜在性价比。如何结合理论优化设计的结果，利用低成本的工艺过程，在廉价衬底上制备大面积、高质量、结构参数可控的硅纳米线阵列，并通过引入光、电学参数优化的径向pn结从而获得高的光电转换性能，对光伏产业的持续健康发展具有重要意义。本项目拟利用自主设计、组装的内置单圈电感耦合等离子体化学气相沉积装置，以自组装单层SiO2纳米球为掩膜版图案化的铝作催化剂，在玻璃衬底上制备高质量、结构参数可控的p型自掺杂硅纳米线阵列。从而克服利用传统热化学气相过程，以光刻技术图案化的Au催化生长硅纳米线高的成本和低劣的电学质量。在高质量硅纳米线阵列获得的基础上，通过依次在纳米线表面包覆本征晶硅光吸收\载流子产生层、氢化非晶硅钝化\过渡层及n型氢化非晶硅碳窗口\发射层，制备具有高效光管理和载流子收集的径向异质pn结光伏器件。

中文关键词： 径向pn结；光伏器件；硅纳米线阵列；光管理结构；

英文摘要： Due to the unique optical and electrical characteristics, radial pn junction-based photovoltaic devices constructed on nanowires exhibit the incomparable ratio of potential performance to cost over traditional planar pn junction devices. Accordingly, how

英文关键词： Radial pn junction；photovoltaic device；silcion nanowire arrays；light management structures；