双绒面ZnO:Al薄膜的制备及其陷光特性研究

项目名称： 双绒面ZnO:Al薄膜的制备及其陷光特性研究

项目编号： No.61404070

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 王颖

作者单位： 辽宁科技大学

项目金额： 24万元

中文摘要： ZnO:Al (AZO)薄膜具有优良的光电性能，在硅基薄膜太阳能电池中作为透明前电极得到了广泛的研究和应用。绒面AZO薄膜可以实现有效的陷光效应，从而提高电池的转换效率。采用双绒面结构可进一步改善薄膜的陷光能力。本项目拟采用简单低成本的水热法在先溅射沉积后腐蚀制得的“弹坑”状绒面AZO薄膜上生长AZO纳米柱阵列，获得具有 “弹坑-纳米柱”新型双绒面结构的AZO薄膜。摸索在“弹坑”状绒面AZO薄膜上生长形貌可控的纳米柱阵列的方法。研究AZO薄膜“弹坑”状绒面结构的形貌及特性对生长AZO纳米柱的影响；研究“弹坑-纳米柱”双绒面AZO薄膜的表面形貌与其陷光特性、透光性等性能的关系；建立AZO薄膜“弹坑-纳米柱”新型双绒面结构的陷光模型，揭示此新型双绒面结构的陷光机制。本项目的研究为实现低成本获得高陷光能力的太阳能电池用透明前电极提供新思路，具有重要的研究意义和应用价值。

中文关键词： 双绒面结构；氧化锌；纳米柱；陷光；绒度

英文摘要： ZnO:Al (AZO) films are extensively researched and applied as the front electrodes of silicon-based thin-film solar cells due to their excellent optoelectronic properties. Textured AZO films can realize light trapping effect, which can achieve a high effic

英文关键词： double-textured structure；ZnO；nanorods；light trapping；haze