基于法拉第旋光效应的激光偏振干涉纳米测量原理与方法

项目名称： 基于法拉第旋光效应的激光偏振干涉纳米测量原理与方法

项目编号： No.90923026

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 陈本永

作者单位： 浙江理工大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 测量光束的正确逆返是激光干涉纳米测量的基础。实际情况中，由于被测对象不可避免的转动或横向移动，不仅使测量精度降低，甚至无法进行测量。本项目从光路结构设计的源头进行测量方法的创新，提出了一种基于法拉第效应的线偏振光正交逆返的通用新方法，解决了被测对象发生大角度转动或横向移动时仍可形成正确干涉测量的核心技术问题，建立了一种可实现位移和角度同时测量的新原理，提出了激光偏振干涉多维运动实时测量的新方法。拟通过对该测量方法的理论分析、测量系统的优化设计、信号处理方法研究、激光偏振非线性误差及环境因素影响的分析与综合、测量不确定度评定和实验验证等相关内容的研究，构建基于法拉第效应的多维运动纳米测量方法的理论体系，研制一套大范围高精度位移和角度同时测量的新型激光偏振干涉系统。通过本项目的研究，旨在建立精确的纳米测量与表征方法，为我国纳米制造技术走自主创新之路提供新型的纳米测试计量仪器。

中文关键词： 纳米测量；激光干涉仪；法拉第效应；位移测量；角度测量

英文摘要：

英文关键词： Nanometer measurement；Laser interferometry；Faraday Effect；Displacement measurement；Angle measurement