CoFeB基新型垂直磁各向异性薄膜的界面调控及其自旋输运特性的研究

项目名称： CoFeB基新型垂直磁各向异性薄膜的界面调控及其自旋输运特性的研究

项目编号： No.11174354

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 物理学I

项目作者： 朱涛

作者单位： 中国科学院物理研究所

项目金额： 75万元

中文摘要： 电流诱导的自旋转移矩(STT)是自旋电子器件的重要发展方向。由于具有低功耗、抗热扰动性好等潜在优点，垂直磁各向异性(PMA)薄膜日益成为STT器件的研究热点之一。CoFeB基PMA薄膜，如Ta/CoFeB/MgO，就是最新一类的PMA薄膜，但目前为止，其垂直磁各向异性的物理机制还并不清楚。本项目根据申请者多年在磁隧道结的研究积累，采用反常Hall效应，结合薄膜磁性和薄膜结构分析手段，系统地研究在不同溅射工艺及退火工艺条件下，Ta/CoFeB/MgO的界面结构及垂直磁各向异性，研究中将着重于Ta/CoFeB/MgO的界面结构的调控，由此揭示出此类CoFeB基新型PMA薄膜产生垂直磁各向异性的物理机制。通过进一步优化溅射及退火等工艺条件，制备出高质量的CoFeB基新型PMA薄膜，同时开展CoFeB基新型PMA薄膜的自旋相关输运特性的研究。

中文关键词： 垂直磁各向异性；反常霍尔效应；极化中子反射；自旋轨道力矩；

英文摘要：

英文关键词： perpendicular magnetic anisotropy；anomalous Hall effect；polarized neutron reflectivity；spin-orbit torque；