大气压射频辉光放电等离子体中电磁流体力学多场耦合效应的研究

项目名称： 大气压射频辉光放电等离子体中电磁流体力学多场耦合效应的研究

项目编号： No.10972119

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 李和平

作者单位： 清华大学

项目金额： 41万元

中文摘要： 大气压射频辉光放电等离子体源在薄膜沉积、刻蚀、微生物诱变育种、消毒灭菌、生化清洗等领域具有广阔的应用前景。在大气压射频辉光放电等离子体中，电子与重粒子间频繁的碰撞过程所引起的能量和动量交换以及气体的宏观运动会对等离子体温度及其中各种粒子浓度的空间分布、进而对等离子体的产生和稳定维持产生显著的影响，这是其不同于低气压下处于宏观静止状态的辉光放电等离子体的突出特点。就大气压射频辉光放电等离子体中电、磁、热及流体力学多场耦合效应进行研究，具有重要的学术价值和实用意义。本项目拟采用实验研究和数值模拟相结合的手段对此开展较为系统性的研究，包括大气压射频辉光放电等离子体电特性、放电区光谱结构、等离子体射流区温度、速度、活性粒子浓度分布的测量，描述大气压射频辉光放电等离子体特性的物理－数学模型的建立及求解等。通过数值模拟和实验研究，揭示大气压射频辉光放电等离子体中电磁流体力学耦合效应对其特性的影响规律。

中文关键词： 电磁流体力学；大气压等离子体；辉光放电；流动；耦合效应

英文摘要：

英文关键词： electromagnetohydrodynamics；atmospheric-pressure plasma；glow discharge；flowing；coupling effect