输出波长6.7nm的稀土元素Gd靶激光等离子体极紫外光源研究

项目名称： 输出波长6.7nm的稀土元素Gd靶激光等离子体极紫外光源研究

项目编号： No.61178022

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 林景全

作者单位： 长春理工大学

项目金额： 69万元

中文摘要： 本研究着眼于分辨率优于8nm的终极光学光刻（Beyond EUVL）、高分辨率成像以及材料分析等需求极短波长光源的场合，首次提出以玻璃中掺杂稀土元素Gd2O3粒子的、低于固体密度（金属）Gd靶形式，开展输出波长为6.7nm的激光等离子体光源研究。主要内容包括：制备玻璃中掺杂一定粒子浓度范围的新型Gd靶；通过采用不同Gd2O3粒子掺杂浓度的靶，研究6.7nm处光辐射相对强度与初始Gd等离子体密度的关系； 通过改变入射Nd:YAG激光的波长、功率密度等参量，研究Gd等离子体的临界电子密度及电子温度对6.7nm处光辐射相对强度的影响；综合以上结果，得到有利于6.7nm光输出的实验参数,并利用时空分辨可见光发射光谱术得到该实验条件下的等离子体参数（电子温度及密度）；研究这种新型Gd靶光源的碎屑辐射特性以及建立背压气体法对其阻挡的技术；研究光源在与其匹配使用的多层膜反射峰之外的离带辐射特性。

中文关键词： 极紫外光源；激光Gd等离子体；6.7nm辐射；离子碎屑；

英文摘要：

英文关键词： EUV light source；Gd target laser plasma；6.7nm radiation；ion debris；