大量程高速光栅纳米测量传感机理及关键技术研究

项目名称： 大量程高速光栅纳米测量传感机理及关键技术研究

项目编号： No.51375138

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 夏豪杰

作者单位： 合肥工业大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 跨尺度纳米位移测量技术是超精密工程发展的重要基础，光栅传感器跨尺度测量备受关注。针对光栅深纳米（≤10nm）测量技术面临的测量精度与测量速度难以兼得困局，提出本项目研究。借鉴激光干涉测量原理，利用PZT调制将被测位移转换为测量信号相位变化，利用相位解调技术实现高速测量，单路测量信号即可实现精密测量与辨向，规避当前光栅测量技术辨向误差与直流漂移、幅值波动对深纳米测量精度的影响。误差补偿技术是实现低成本高精度测量的有效途径，光栅深纳米精度测量误差因素众多且相互耦合，研究各项误差生成与传递规律，设计多参数检测系统，进行纳米精度下的光栅传感器误差解耦与建模，研究误差在线综合补偿方法。利用FPGA技术研究多参数信号在线处理方法，保证信号处理的高速有效。本项目综合误差补偿技术与现代电子技术，突破现有光栅精密测量原理，研制具有较强工程应用价值的光栅纳米测量传感器。

中文关键词： 光栅传感器；光栅干涉仪；纳米测量；误差补偿；

英文摘要： Nanoscale displacement measurement technology is a primary technology driver in precision engineering, and grating transducers are promising tools.The project is proposed to solve the technical dilemma that is nanoscale measurement accuracy with high spe

英文关键词： grating transducer；grating interferometer；nanoscale measurement；error compensation；