相变存储器件OTS与OMS物理机理和模型研究

项目名称： 相变存储器件OTS与OMS物理机理和模型研究

项目编号： No.61176099

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 林信南

作者单位： 北京大学

项目金额： 65万元

中文摘要： 相变存储器利用某些金属硫化物的热致晶态-非晶态可逆相变原理工作，具有非易失、速度快、存储密度大、工作电压低等优点，是下一代存储技术最有力的竞争者之一。为评估不同器件结构不同尺寸不同材料PCM单元的电气特性，需要建立能够进行器件读写操作模拟的数值仿真器，本项目通过采用分级模拟及mixed-mode策略，将建立基于电热耦合及原胞自动机相变算法的数值模拟器，并首次实现同时包括OTS和OMS过程在内的连续时域模拟。为建立材料、器件、工艺、电路之间的纽带，需要建立基于物理的相变存储器单元及其驱动器件SPICE模型，本项目将根据非晶态半导体的传输性质，开发包含温度反馈的阻抗解析模型，并首次提出基于物理的、能够体现阻抗随结晶比例变化的SPICE模型，同时提出基于物理的驱动器件阵列的SPICE模型，建立相应的字线位线导通电流和漏电流模型及其相应的参数提取工具，满足PCM大工艺生产对模型与模拟技术的需求。

中文关键词： 相变存储器；物理机理；模型；；

英文摘要：

英文关键词： PCM；Physical mechanism；Model；；